‏خلاصه اختراع سامانه هاي ليتوگرافي مسقيم ليزري شامل يك ليزر فرابنفش، سامانه خودكانون و سامانه سكوي قابل كنترل است كه عملكرد آن را مشخص مي كند. سامانه خودكانون، براي رسيدن به كميته لكه ليزر، زيرلايه را در فاصله مناسب از عدسي شيئ قرار مي دهد و همواره اين فاصله را ثابت نگه مي دارد، تا پهناي خط ليزر روي زيرلايه تغيير نكند. ‏در سامانه خودكانون از روش آستيگماتيسم استفاده گرديده است. در اين روش از بازتاب نور يك ليزر و يك عدسي استوانه اي براي ايجاد ابيراهي آستيگماتيسم براي تعيين انحراف از كانون استفاده مي شود. چنانچه نمونه در كانون قرار گرفته باشد، در صفحه تصوير يك الگوي دايروي ايجاد مي شود و چنانچه نمونه jl ‏كانون در يك جهت دور شود، بسته به‏جهت انحراف از كانون لكه دايروي در يكي از جهات افقي يا عمودي باز شده و يبضي شكل مي شود. اين الگو توسط يك آشكارساز چهارتايي كه در صفحه تصوير قرار مي گيرد، تشخيص داده شده و بعد از پردازش سيگنال لازم، سيگنال خطاي ‏كانون توليد مي شود. سيگنال خطا ي كانون در نهايت به محرك راستاي z ‏داد‏مي شود تا نمونه را در كانون قراردهد. ‏روش متداول كه در سامانه هاي خودكانون به كار مي رود نوعا داراي محدوديت هايي است كه در اين سامانه با ايجاد ‏تعبيرات و نوآوم ي هايي در ساختار آن اين محدوديت هااز يبن رفته است. براي از يبن بردن محدوديت ها از يك چيدمان جديد براي اين سامانه استفاده شده است. اين چيدمان بر چهار اساس استوار است. اول آنكه نوري كه وارد عدسي شيئ مي شود، بايد همگرا باشد. دوم آنكه، مانند روشي متداول از آستيگماتيسم براي بوجود آوردن الگوهاي دايروي يا بيضوي استفاده شود. سومين اساس آن اين است كه چنانجه يك دسته پرتو دقيقا از مركز يك عدسي عبور كنند، عدسي بر روي ‏آنها تاثير نمي گذارد و اساس چهارم استفاده ازسيگنال نرماليزه خطاي كانون است.

خلاصه اختراع ‏در سامانه سكوي قابل كتنرل از تداخل سنج مايكلسون با ليزر He-Ne ‏با طول موج 632/8 nm براي تعيين وفيدبك ‏ميزان جابجايي استفاده شده است. بنابراين با استفاده از يك آشكارساز و شمارش دفعات تاريك و روشن شدن آن مي توان ‏به دقت 8/4 (158/2nm )دست يافت. در اين سامانه، براي تعيين جهت حركت فريزهاي تداخلي در يك نوآوري از دو آشكارساز نوري كنار هم استفاده شده است. همچنين تمام فرآيندهاي كنترلي سكو توسط يك ميكروكتنرلر صورت گرفته ‏است ، كه علاوه بر كاهش هزينه ساخت ، توان مصرفي سامانه نيز كاهش يافته است.